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      靶材綁定基礎知識

      發布時間:2020年04月13日 | 圍觀人數:5236

      一、什么是綁定

      綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式:壓接、釬焊和導電膠。靶材綁定常用釬焊,釬料常用In、Sn、In –Sn,一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/㎝2。

      二、為什么要綁定

      1、防止靶材受熱不勻碎裂,例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及燒結靶材;

      2、節省成本,防止變形,如靶材太貴,可將靶材做薄些,綁定背靶以防止變形。

      三、背靶的選擇

      1、常用無氧銅,導電性好,無氧銅的導熱性比紫銅好;

      2、厚度適中,一般建議背靶厚度3mm左右。太厚,消耗部分磁強;太薄,容易變形。

      四、綁定過程

      1、綁定前將靶材和背靶表面預處理
      2、將靶材和背靶放置在釬焊臺上,升溫到綁定溫度
      3、將靶材和背靶金屬化
      4、粘接靶材和背靶
      5、降溫和后處理 

      五、綁定靶材使用的注意事項

      1、濺射溫度不宜太高

      2、電流要緩慢加大

      3、循環冷卻水應低于35攝氏度

      4、適宜的靶材致密度

      六、背靶脫落的原因

      1、濺射溫度高,背靶易被氧化和發生翹曲,靶材在高溫濺射時會開裂,造成背靶脫落;

      2、電流太大,導熱太快造成溫度過高,焊料熔化,造成焊料不均勻,造成背靶脫落;

      3、循環冷卻水出水口的溫度應低于35攝氏度,循環水溫度高,造成散熱不好而脫落;  

      4、靶材本身的致密度,靶材的致密度很高時,不易吸附,無空隙,背靶易脫落。


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