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    靶材绑定基础知识

    发布时间:2020年04月13日 | 围观人数:4508

    一、什么是绑定

    绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要有三种的方式:压接、钎焊和导电胶。靶材绑定常用钎焊,钎料常用In、Sn、In –Sn,一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20W/㎝2。

    二、为什么要绑定

    1、防止靶材受热不匀碎裂,例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及烧结靶材;

    2、节省成本,防止变形,如靶材太贵,可将靶材做薄些,绑定背靶以防止变形。

    三、背靶的选择

    1、常用无氧铜,导电性好,无氧铜的导热性比紫铜好;

    2、厚度适中,一般建议背靶厚度3mm左右。太厚,消耗部分磁强;太薄,容易变形。

    四、绑定过程

    1、绑定前将靶材和背靶表面预处理
    2、将靶材和背靶放置在钎焊台上,升温到绑定温度
    3、将靶材和背靶金属化
    4、粘接靶材和背靶
    5、降温和后处理 

    五、绑定靶材使用的注意事项

    1、溅射温度不宜太高

    2、电流要缓慢加大

    3、循环冷却水应低于35摄氏度

    4、适宜的靶材致密度

    六、背靶脱落的原因

    1、溅射温度高,背靶易被氧化和发生翘曲,靶材在高温溅射时会开裂,造成背靶脱落;

    2、电流太大,导热太快造成温度过高,焊料熔化,造成焊料不均匀,造成背靶脱落;

    3、循环冷却水出水口的温度应低于35摄氏度,循环水温度高,造成散热不好而脱落;  

    4、靶材本身的致密度,靶材的致密度很高时,不易吸附,无空隙,背靶易脱落。


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